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德國巴魯夫BALLUFF傾斜傳感器描述:用于光輻射的光源、具有用于使得由光源產生的光輻射通過的光學有效圖案的圖案載體、沿著輻射傳播方向設在該圖案載體下游的傾斜敏感單元、以及用于由光源產生的輻射入射且穿過所述圖案載體和傾斜敏感單元的透射區(qū)域,其中,所述光源為圖案載體的形式。
本發(fā)明的一個優(yōu)點在于與現(xiàn)有傾斜計相比至少減少了一個組成元件,這使得可以減少制造成本并允許縮短設計。另一個優(yōu)點是在光束撞擊圖案之前省略了光束的校準。
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