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當(dāng)前位置:首頁 / 產(chǎn)品中心 / 德國 海德漢HEIDENHAIN / 直線光柵尺 / LIDA279/LIDA289/LIDA209heidenhain海德漢光柵尺LIDA209精度±15 µm
heidenhain海德漢光柵尺LIDA209精度±15 µmLIDA 279,LIDA 289允許較大安裝公差的增量式直線光柵尺? 測(cè)量步距0.5 µm? 自由裁剪鋼帶光柵尺? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中? 帶三色LED的功能顯示? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION技術(shù)文章
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以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過一個(gè)柵距,莫爾條紋移過一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
heidenhain海德漢光柵尺LIDA209精度±15 µm
規(guī)模 | LIDA 209 |
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測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 線膨脹系數(shù) | 鋼卷尺;光柵周期200微米 ?therm ? 10 x 10–6 K–1 | |||
精度等級(jí) | ±15 µm | |||
從卷上切下的卷尺* | 3 m, 5 m, 10 m | |||
參考標(biāo)記 | 每100毫米可選 | |||
質(zhì)量 | 20 g/m | |||
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掃描頭 | LIDA 28 | LIDA 27 |
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界面 | 1 VPP | TTL |
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積分插值* 信號(hào)周期 | – 200 µm | 10-fold 20 µm | 50-fold 4 µm | 100-fold 2 µm |
截止頻率 掃描頻率 邊緣分離A | ≥ 50 kHz – – | – ≥ 50 kHz ≥ 0.465 µs | – ≤ 25 kHz ≥ 0.175 µs | – ≤ 12.5 kHz ≥ 0.175 µs |
橫移速度 | ≤ 600 m/min | ≤ 300 m/min | ≤ 150 m/min | |
插值誤差 | ±2 µm | – | ||
電氣連接* | 電纜,1米或3米,帶15針D-Sub連接器(公) | |||
電纜長度 | 見接口說明,但≤30米(帶海德漢電纜) | |||
電源 | DC 5 V ±0.25 V |
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電流消耗 | < 155 mA | < 140 mA (無負(fù)荷) |
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振動(dòng)55赫茲至2000赫茲 沖擊11毫秒 | ≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27) | |||
工作溫度 | –10 °C to 70 °C | |||
質(zhì)量掃描頭 連接電纜 連接器 | 20 g (無負(fù)荷) 30 g/m 32 g | |||
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