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heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION技術(shù)文章
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光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,目前(2006年)光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。
在一個莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對/mm的光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。
為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2,為得到判向和計數(shù)脈沖,需對這兩路信號進(jìn)行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后,通過對方波的相位進(jìn)行判別比較,就可以等到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù),可以等到光柵尺的位移和速度。
heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003
規(guī)模 | LIC 4003 | ||||
測量標(biāo)準(zhǔn) 線膨脹系數(shù)* | 玻璃陶瓷或玻璃上的金屬刻度光柵 αtherm?8·10–6 K–1(玻璃) αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax玻璃陶瓷) | ||||
精度等級* | ±1 µm (僅適用于Robax玻璃陶瓷), ±3 µm, ±5 µm | ||||
基線誤差 | ≤ ±0.275 µm/10 mm | ||||
測量長度ml*inmm | 240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 (Robax玻璃陶瓷,大ml 1640) | ||||
質(zhì)量 | 3 g + 0.1 g/mm 測量長度 | ||||
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掃描頭 | AK LIC 411V | AK LIC 419 F V | AK LIC 419 M V | AK LIC 419 P V | |
界面 | EnDat 2.2 | Fanuc串行接口αi接口 | 三菱高速接口 | 松下系列接口 | |
訂購名稱* | EnDat22 | Fanuc05 | Mit03-4 | Mit02-2 | Pana01 |
測量步驟* | 0.01 µm (10 nm) 0.005 µm (5 nm) 0.001 µm (1 nm) | 0.01 µm (10 nm) 0.005 µm (5 nm) | |||
計算時間tcal 時鐘頻率 | ≤ 5 µs 16 MHz | – | |||
橫移速度1) | ≤ 600 m/min | ||||
插值誤差 | ±20 nm | ||||
電氣連接 | 電纜1米或3米,帶D-Sub連接器(公接頭)15針 | ||||
電纜長度(帶海德漢電纜) | ≤ 100 m | ≤ 50 m | ≤ 30 m | ≤ 50 m | |
電壓供應(yīng) | 3.6 V DC to 14 V DC | ||||
功耗1(大) | At 3.6 V: ≤700 mW At 14 V: ≤800 mW | At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW | |||
電流消耗(典型) | At 5 V: 75mA | At 5 V: 95 mA | |||
振動55赫茲至2000赫茲 沖擊6毫秒 | ≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27) | ||||
工作溫度 | –10 °C to 50 °C | ||||
烘烤溫度 | 100 °C | ||||
真空級 | 高真空高達(dá)10–7毫巴 | ||||
保護(hù)EN 60 529 | IP40 | ||||
質(zhì)量掃描頭 連接電纜 連接器 | 18 g (無電纜) 21 g/m D-Sub連接器:64 G | ||||
*訂購時請選擇 1)參見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息。
Robax是德國緬因州Schott Glaswerke的注冊商標(biāo)。 |
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