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heidenhain海德漢光柵尺LIP 481精度0.005µm LIP 471,LIP 481 超高精度增量式直線光柵尺 ? 用于有限安裝空間應用 ? 測量步距1 µm至0.005 µm ? 測量基準用固定架固定 ? 高真空或超高真空版(參見產品信息樣本)
heidenhain海德漢光柵尺LIP 201精度0.001µm LIP 211,LIP 281,LIP 291 增量式直線光柵尺,精度高和重復精度高 ? 測量步距可達0.001 µm(1 nm)或更小 ? 用于高運動速度和大測量長度 ? 測量基準用固定架固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm LIP 372,LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺 ? 測量步距達0.001 µm(1 nm) ? 測量基準用螺栓固定
heidenhain海德漢光柵尺LIC 2109精度0.05µm LIC 2119,LIC 2199 式直線光柵尺,大測量長度3 m ? 測量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
海德漢光柵尺LIC2107精度0.1 µm~0.05 µm LIC 2117,LIC 2197 式直線光柵尺,大測量長度3 m ? 測量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并中間固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成